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半导体加工设备
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DS613--精密划片机
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产品名称: DS613--精密划片机
产品型号:
点击次数: 156次
产品信息:



配置与性能加工尺寸φ6‘’或□150mm
切槽深度≦4mm或定制
工作台平整度±0.006mm/φ160mm
对准系统70x直光﹢环光(210x选配)
主轴转速范围3000~50000rpm
输出功率1.5KW
X轴驱动方式伺服电机
工作台左右行程170mm
行程分辨率0.0001mm
速度设定范围0.1~500mm/s
Y轴驱动方式步进电机﹢光栅闭环控制系统
主轴前后行程170mm
行程分辨率0.0001mm
单步定位精度≦0.003mm/5mm
全程定位精度≦0.005mm/170mm
Z轴驱动方式步进电机
主轴上下行程30mm
行程分辨率0.001mm
重复定位精度0.001mm/50次
θ轴驱动方式DD马达
转角范围380o
转角分辨率0.0005o
基础规格电源单相,AC220V±10%,3.0kVA
耗电量加工时  0.6KW(参考值)
暖机时  0.4KW(参考值)
压缩空气压力0.6~0.8Mpa,最大消耗量180L/min
切削水压力0.2~0.4Mpa,最大消耗量4.0L/min
冷却水压力0.2~0.4Mpa,最大消耗量1.5L/min
排风量1.5m3/min(ANR)
外形尺寸W×D×H580mm×910mm×1650mm
重量500kg

特点:

√ 刀片数据库管理

√ 工件切割数据库管理

√ 自动对焦功能

√ 双向抬刀切割功能

√ 刀刃露出量补偿功能

√ 多项安全保障和报警功能


使用条件:

1.请将机器设在20~25℃的环境中(波动范围控制在±1℃以内);室内湿度40%~60%,保持恒定,无凝结。

2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。

3. 请将切削水的水温控制为室温2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。

4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外,请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。

5.请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。

6.请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。


应用领域: 二极管、三极管、LED封装、NTC、MEMS、IC、光伏、医疗器械、闪烁晶体

可精密切割材料: 硅片、PCB板、EMC、陶瓷、玻璃、石英、砷化镓、铌酸锂、蓝宝石、晶体

自动对焦功能:

通过视觉算法,配合运动控制,自动升降镜头,快速获得工件图像清晰位置。


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