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3D光学轮廓仪 S neox
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产品名称: 3D光学轮廓仪 S neox
产品型号: 3D光学轮廓仪 S neox
点击次数: 114次
产品信息:


D 光学轮廓仪 S neox
最新的S系列3D光学轮廓仪,为您展现全新的3D立体形貌

全新设计的3D光学轮廓仪S neox颠覆传统,将共聚焦、干涉和多焦面叠加技术融合于一身,测量头内无运动部件。

共聚焦
共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.09um.利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时,共聚焦在光滑表面测量斜率达70°(粗糙表面达86°)。专利的共聚焦算法保证Z测量重复性在纳米范畴。

相位差干涉
相位差干涉是一种亚纳米级精度的用于测量光滑表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证亚纳米级的纵向分辨率。使用2.5倍的镜头就能实现超高纵向分辨率的大视场测量。

白光干涉
白光干涉是一种纳米级测量精度的用于测量各种表面高度形貌的技术。它的优势在于任何放大倍数都可以保证纳米的纵向分辨率。

多焦面叠加
多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验,特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的最大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大(最大86°)。此功能对工件和模具测量特别有用。

无运动部件的共聚焦
Sneox系列是采用Sensofar专利设计的Microdisplay共集聚扫描技术。Microdisplay使用FLCOS原理,可实现无需机械运动的快速共聚焦扫描。它具有高速、稳定和无限使用时间的特点。现有的其他品牌共聚焦显微镜都采用镜片震动扫描的方式,因为有机械震动会造成测量时抖动,使用时间也有限。



多波长的LED光源
Sneox有4个独立的LED光源红色(630nm),绿色(530nm),蓝色(460nm)和白色,可以满足各种应用的需要。较短的光波长可在测量时获得最好的水平分辨率。较长的光波长有更好的光学相干性,适合干涉扫描使用。此红、绿、蓝三色LED交替照明的方式还能帮助获得最真实和高对比度的图像。

用高分辨率的摄像头将共聚焦的图像精彩呈现。
用高速模式扫低反射率的样品时,3D扫时间将少于3秒。

3D形貌的最新体检
彩色共聚焦观察方式使用户能在视场内观察到纳米级的细节。扫??时用红、绿、蓝三色LED交替照明,获得三张单色的图像,最后还原成高分濒率彩色图像和高质量的彩色表面纹理图 

 薄膜厚度
用分光反射计可以完善地解决薄膜厚度测量。Sneox在增加了分光反射计后可以测量10nm的膜厚和最多10层膜。由于是通过显微镜测量,最小的测量点为5um。因为系统里有组合的LED光源,所以实时观察和膜厚测量能同时进行。

增配SensoPRO或SensoMAP软件就能轻易实现全自动测量和分析
SensoPRO
有了SensoPRO,在生产线上进行质量管控将变得从未有过的简单和快速。操作员只需要更换样品和按开始测量就行。插件式的数据分析模块能灵活地增减,现在已有特别针对PSS(LED行业)、Bump、深孔、粗糙度、台阶高度、traces和划痕的分析模组。还能根据客户的要求定制。

SensoMAP
SensoMAP是基于Mountains的专业形貌分析和报告软件。它采用模块化设计,有两个级别(standard和premium)和多个功能模块(2D、3D和4D分析、高阶轮廓分析、粒度分析、统计和拼接等)可供选择。

明场 干涉
放大倍数 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
数值孔径 0.075 0.15  0.30  0.45  0.80  0.90  0.95  0.075 0.13  0.30  0.40  0.55  0.70 
工作距离(毫米) 6.5  23.5  17.5  4.5  1.0  1.0  0.2  10.3  9.3  7.4  4.7  3.4  2.0 
视场范围1(微米) 7016x5280 3508x2640 1754x1320 877x660 351x264 175x132 117x88 7016x5280 3508x2640 1754x1320 877x660 351x264 175x132
像素分辨率2(微米) 5.16  2.58  1.29  0.65  0.26  0.13  0.09  5.16  2.58  1.29  0.65  0.26  0.13 
光学分辨率3(微米) 1.87  0.93  0.46  0.31  0.17  0.15  0.14  1.87  1.07  0.46  0.35  0.5  0.20 
测量时间4(秒) >3s >3s

系统参数
CCD像素 130x1024 pixels
LED光源 红(630nm),绿(530nm),蓝(460nm),白(550nm)
样品高度 标准支架40mm,可调支架150mm(更大可定制)
平台尺寸 最大700*600mm
Z轴移动行程 标准支架40mm,PZT装置200um
Z轴测量范围 PSI 20um,ePSI 100um,VSI 10mm,共聚焦10mm,多焦面叠加37mm
Z轴线性度 标准支架<0.5um/mm,PZT装置<30nm/100um(0.03%)
Z轴分辨率 标准支架2nm,PZT装置0.75nm
台阶高度重复性 0.10%
台阶精度 0.50%
样品反射率 0.05% to 100%
显示分辨率 0.001nm
电源 交流电100-240AC,50/60HZ
电脑配置 最新款INTEL处理器,2560*1440分辨率显示器(27英寸)
操作系统 Microsoft Windows8 64bits
工作环境 温度:10-35度,湿度<80%,海拔<2000m

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